成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列
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產品名稱: 成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列
產品型號: 9000系列
產品展商: 日本日立HITACHI
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簡單介紹
成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列
20納米世代后的裝置對精度和工藝要求非常高，如雙重圖案和3D構造，以及針對新材料相對應的高精密度復雜制程要求，包含后道處理和形成保護膜等。為了對應這類下一代器件工藝，半導體蝕刻裝置9000系列統(tǒng)一了接口并且能夠搭載高精度模塊化的各種腔室，從而實現(xiàn)了對應***器件的擴展性和柔軟性的工藝。
成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列
成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統(tǒng)9000系列
的詳細介紹
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新的9000系列的串接式平臺，其模組腔室設計，可以提供制程使用的彈性以及未來的擴充性。
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有助于順利過渡到未來450mm晶圓用設備的平臺和用戶界面標準化整合。
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9000系列平臺采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等離子體蝕刻腔室，已經過大批量生產的考驗。
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應用晶圓直徑
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300mm
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裝置構成
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9 chambers (max.)
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部分規(guī)格會與照片不一樣。
